精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺特點(diǎn)：
非接觸/零摩擦力/滑順/直線精度/潔凈
簡介：
臺灣開發(fā)設(shè)計(jì)精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺，非接觸氣靜壓導(dǎo)軌，零磨耗，確保設(shè)備精度性能
實(shí)現(xiàn)次微米級定位、重復(fù)、水準(zhǔn)跳動(dòng)與直線精度，使用日系直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，達(dá)到平臺運(yùn)動(dòng)完全零損耗。。適用于光電半導(dǎo)體制程、檢測設(shè)備.精密激光加工設(shè)備。
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規(guī)格參數(shù):? 移動(dòng)臺面尺寸：275X275 mm 標(biāo)準(zhǔn)行程：50/100/150/200/300/400/500 mm 定位精度：±0.2 ~±0.75μm重復(fù)精度:±0.1 ~±0.5μm? ? ? ? ? ? 直線精度：±0.1 ~±0.5μm 標(biāo)準(zhǔn)連續(xù)推力：93/114/140/170 N 最大速度：1 m/s 最大載重：35 kg 工作壓力：0.55 MPa 空壓需求量：<35 L/min |
精密檢測、激光、光電半導(dǎo)體設(shè)備用，高剛性氣浮平臺 行程：0~150 mm 定位/重復(fù)精度：0.3/0.2μm 水平/垂直直線度：0.1/0.1μm 最大載重：25Kg |
客制化專用氣浮運(yùn)動(dòng)平臺、系統(tǒng) 行程: 0~300 mm 定位/重復(fù)精度:? 0.3/0.2μm 水平/垂直直線度:? 0.1/0.2μm 最大載重: 45Kg
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 小型對位平臺/50mm?? |
小型對位平臺/100mm
|  檢測設(shè)備/170mm |
 齒科設(shè)備/150mm |  精微制造系統(tǒng)/250mm |
 雷射切割設(shè)備/320mm
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模塊型精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺（開發(fā)中型式）
客制化專用氣浮運(yùn)動(dòng)平臺、系統(tǒng)：拼接導(dǎo)軌技術(shù) -工作臺面：406x406mm -行程：500 mm -定位/重復(fù)精度：±0.3/±0.5μm -水準(zhǔn)/垂直直線度：±0.5/±0.5μm -最大載重：100Kg
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臥式氣浮回轉(zhuǎn)定位軸： -旋轉(zhuǎn)盤面：直徑90 mm -行程：360度，連續(xù) -回轉(zhuǎn)定位/重復(fù)精度：±2/±1 arcsec -徑向/軸向回轉(zhuǎn)誤差：±0.2/±0.2μm -最大載重：10Kg |